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阶差规 查看详细尺寸点击我516系列特点:l 阶差减小的高度从NO.1到NO.5。l 相邻阶差校准的分辨率0.01μm,使用干涉仪的精度测量的线性偏差为±0.20μml 可选用钢制型和陶瓷型。l 阶差规用于校准相邻高度的精度。性能参数公制型
货号 备注 516-198 钢制型(阶差:10μm/5μm/2μm/1μm) 516-199 钢制型(阶差:300μm/100μm/50μm/20μm) 516-498 陶瓷型(阶差:10μm/5μm/2μm/1μm) 516-499 陶瓷型(阶差:300μm/100μm/50μm/20μm)