SIMCOION离子风棒5635
5635型MP离子风棒,是对应用在先端半导体制造工程等100nm以下的微小型颗料除静电器。
产品特征:
采用在世界上无与伦比的电极材料单晶硅的优势,避免超低颗料特性的电极材料的重金属污染的风险。
通过独特的MP(脉冲调制)方式,可以有效的发挥离子除电性能。
平衡的电位,即使是在距100mm的距离也可用使用的特性及静电杆长且离子平衡度好。
通过智能控制电路,可自动管理离子发生状态及离子平衡度。
1/4圈可以拆卸更换电极,有助于减少维护工时。
电位波动小的MP方式的特性,简化了组装。另外,电位波动小可以保持离子平衡度在管理的基准内。
设定了适合半导体前工序EFEM用的除静电棒长度。
内置24V DC驱动控制器的小巧紧湊型设计。
可用于全球高层次网络。
产品规格:
输入电压
24V DC + / -10%
输出电压
最大可调至约13.5kv PP
安装距离
100毫米1000毫米(无空气净化)
离子生成方式
电晕放电法
PM(脉冲变调)方式 变动频率 1 ~ 33 Hz
离子平衡度
自动平衡调节方法
<+/-10V内离子风棒直下 根据位置的不同会有差异<+/-10v
(600 mm距離)电极
单晶硅电极 可更换
吹气
清洁干燥的空气或氮气
最大气压力
310Kpa
臭氧产生量
<0.05PPM(24时总值)
信号输出
报警IO 电极输出
尺寸
高78mm*宽34mm*t长(如下值)
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750
/ 1900/2050/2200/2350Mm
外观
ABS树脂
关于ISO Class1。10nm的延伸?
延长ISO Classl.10mm,是基于ION Systems为了应对微小型颗料而自定的清洁度。ISO14644-1是最小粒径在100nm的定义。ISO Class1,10nm用了和ISO14644-1一样的容许颗粒数的计算方式。这个容许颗料数在粒径为10nm以下1200pc/ m3(34 pc/ft3)。