SIMCOION氮气离子系统4212
4214静电消除器是一款即使在N2的环境下也可以对应“延长ISO Class1,10nm”的高清洁静电消除器,以达到更好的离子平衡效果。
产品特点:
- 采用对应超低颗粒的单结晶硅电极。
- 通过自身的清洁机构,超低颗粒不释放到外部,以确保长时间清洁度的稳定。
- 采用智能控制电路,不需要任何调整。
- 内置传感器可随时监测离子发生情况,以达到良好的除电效果。
- 控制器和电源内置的紧湊一体型设计。
- 当低流量时,高电压自动切断机能而达到产品的保护。
- 最适合先端半导体制造工程情况下的超低颗粒。
- 24V DC驱动。
产品规格:
输入电压
24V DC+/-5% 6W Typ.
离子平衡度
<+/-25V 150mm 距離 40LPM 无接续配管
除电时间
<10sec 150mm 距離 40LPM 配管接続無し
通过+/-1kv → +/- 100v 帯電板显示器离子发生方式
电晕式放电 高周波AC式
清洁度
ISO Class1,0.1 micron"拡張ISO Class1,10nm"*
电极
单结晶硅 可交换
对应吹扫气体
N2 > 99.998%
流量
40LPM(36.5Kpa)~90LPM(171kpa)
最大气压
207K pa(=100LPM流量)
气压最高温度
60deg C
N2接续
Swagelok3/8" OD 配管
离子化N2接续
1/4NPT内螺纹连接器或联结选购件
用28-25710-SC Swagelok1/2"OD配管接続使用温度范围
15-60deg C
信号输出
通过Open/Close接点报警及离子低下输出
尺寸
长152.4mm x 宽72.4mm x 高32mm
重量
640g
外装
不锈钢
取装方法
里面M5螺丝 螺丝长不超过10mm
关于“延长ISO Class1,10nm”
为了应对微小型颗料,基于ION Systems而自定的清洁度的定度。ISO14644-1是最小粒径在100nm的定义。ISO Class1,10nm用了和ISO14644-1一样的容许颗粒数的计算方式。这个容许颗料数在粒径为10nm以下1200pc/ m3(34 pc/ft3)。